掃描/透射電子顯微鏡是指帶有掃描附件的透射電子顯微鏡，特別是由場(chǎng)發(fā)射電子槍制成的掃描透射電子顯微。掃描透射電子顯微鏡(STEM)是一種新的分析方法，它結(jié)合了掃描和傳統(tǒng)透射電子顯微鏡的原理和特點(diǎn)。
 

　　掃描透射電子顯微鏡是透射電子顯微鏡的發(fā)展。掃描線圈迫使電子探針在薄膜樣品上掃描。與掃描電子顯微鏡不同的是，探測(cè)器放置在樣品下方，接收透射電子束或彈性散射電子束。放大后，在熒光屏上顯示與常規(guī)透射電子顯微鏡相對(duì)應(yīng)的掃描透射電子顯微鏡的明場(chǎng)圖像和暗場(chǎng)圖像。
 

　　掃描/透射電子顯微鏡的優(yōu)點(diǎn)：
 

　　1、掃描透射電子顯微鏡可以觀察到厚樣品和低對(duì)比度樣品。
 

　　2、通過(guò)在掃描透射模式下使用物鏡的強(qiáng)激勵(lì)可以實(shí)現(xiàn)微區(qū)衍射。
 

　　3、利用能量分析儀的方法可以分別收集和處理彈性散射和非彈性散射電子。
 

　　4、進(jìn)行高分辨率分析、成像和生物大分子分析。
 

　　掃描/透射電子顯微鏡的工作原理：
 

　　通過(guò)用聚焦電子束掃描樣品來(lái)完成的。在掃描模式下，場(chǎng)發(fā)射電子源發(fā)射電子，電子束通過(guò)磁透鏡和樣品前面的孔徑會(huì)聚成原子級(jí)束斑。在電子束點(diǎn)聚焦在樣品表面上之后，通過(guò)線圈控制器逐點(diǎn)掃描樣品區(qū)域。在掃描每個(gè)點(diǎn)的同時(shí)，樣品下的探測(cè)器同步接收散射電子。檢測(cè)器接收到的與每個(gè)掃描位置相對(duì)應(yīng)的信號(hào)被轉(zhuǎn)換成電流強(qiáng)度并顯示在熒光屏或計(jì)算機(jī)顯示器上。樣本上的每個(gè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)于生成的圖像點(diǎn)。穿過(guò)探測(cè)器中間空穴的電子可以使用亮場(chǎng)探測(cè)器形成一般的高分辨率亮場(chǎng)圖像。環(huán)形探測(cè)器接收的電子形成暗場(chǎng)圖像。